在 AI 激发先进制程需求的背景下，光刻机概念迎来大爆发，涉及整机（上海微电子 *、奥普光电等）、工件台（华卓精科 * 等）、部件（涵盖光学器件、物镜、温控、光源、真空镀膜、计算 / 控制模块、掩膜版、洁净装备、零部件 / 结构件等多个细分领域，对应茂莱光学、赛微电子、同飞股份等众多企业）以及其他（东方嘉盛、芯碁微装、永新光学等）相关企业。